• 蜜桃视频APP下载入口,蜜桃视频网页,91精品人妻一区二区三区蜜桃,蜜桃视频下载软件下载APP

    蜜桃视频APP下载入口,东北蜜桃视频APP下载入口厂家,蜜桃视频网页
    您当前的位置 : 首 页 > 产品中心 > 磁控与离子束复合
    磁控与离子束复合

    磁控与离子束复合

    • 所属分类:磁控与离子束复合
    • 浏览次数:
    • 发布日期:2020-08-07 15:37:37
    • 产品概述

    磁控与离子束复合系统

    设备用途:

    磁控与离子束复合系统用于纳米级单层及多层功能膜、 硬质膜、 金属膜、 半导体膜、 介质膜、 铁磁膜和磁性薄膜等的制备。 可广泛应用于半导体、 微电子及新材料领域。

    设备组成:

    系统主要由溅射真空室、 蜜桃视频APP下载入口靶、 基片水冷加热公转台、 Kaufman 离子枪、 四工位转靶、 工作气路、 抽气系统、 真空测量、 电控系统及安装机台等部分组成。

    技术指标:

    极限真空度:≤6.67×10-5 Pa (经烘烤除气后);

    系统真空检漏漏率:≤5.0×10-7 Pa.l/S;停机12小时≤5Pa.

    系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,45分钟可达到6.67×10-4Pa;

    系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成。

    标签

    上一篇:没有了
    下一篇:没有了

    最近浏览:

    相关产品

    相关新闻

    网站地图